在半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等前沿領(lǐng)域，微觀(guān)結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)表征是突破技術(shù)瓶頸的關(guān)鍵。Sensofar白光干涉共聚焦顯微鏡憑借其革命性的技術(shù)融合與智能化設(shè)計(jì)，成為科研與工業(yè)界探索微觀(guān)世界的“全能鑰匙”。這款設(shè)備不僅突破了傳統(tǒng)顯微鏡的測(cè)量局限，更以多模式切換、非接觸式檢測(cè)和高效數(shù)據(jù)分析能力，重新定義了三維形貌測(cè)量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
 

　　一、多技術(shù)融合：一機(jī)覆蓋全場(chǎng)景需求

　　Sensofar白光干涉共聚焦顯微鏡的核心優(yōu)勢(shì)在于將共聚焦顯微技術(shù)、白光干涉技術(shù)與多焦面疊加技術(shù)集成于同一平臺(tái)。例如，在半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)中，其共聚焦模式可捕捉0.10μm的橫向分辨率，精準(zhǔn)識(shí)別光刻膠側(cè)壁的納米級(jí)粗糙度；而白光干涉模式則以亞納米級(jí)縱向精度，量化薄膜厚度均勻性，確保芯片制造良品率。面對(duì)粗糙表面，多焦面疊加技術(shù)通過(guò)AI算法自動(dòng)合并多個(gè)焦面圖像，支持最大86°的斜率測(cè)量，突破傳統(tǒng)設(shè)備對(duì)復(fù)雜形貌的檢測(cè)限制。這種“三合一”技術(shù)切換無(wú)需硬件調(diào)整，用戶(hù)僅需一鍵即可完成從超光滑光學(xué)鏡片到毫米級(jí)粗糙結(jié)構(gòu)的全范圍覆蓋。

　　二、非接觸式測(cè)量：守護(hù)樣本完整性的“隱形之手”

　　傳統(tǒng)接觸式探針易劃傷超光滑表面或破壞柔性樣本，而Sensofar采用非接觸式白光干涉技術(shù)，通過(guò)光學(xué)信號(hào)采集避免物理接觸。在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，該設(shè)備可清晰呈現(xiàn)植物細(xì)胞壁的分層結(jié)構(gòu)與紋路特征，同時(shí)保持細(xì)胞活性，為研究細(xì)胞生長(zhǎng)機(jī)制提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)；在消費(fèi)電子產(chǎn)線(xiàn)，其180幀/秒的高速掃描與AI缺陷分類(lèi)功能，可實(shí)現(xiàn)手機(jī)玻璃蓋板100%全檢，年節(jié)省探針刮傷導(dǎo)致的報(bào)廢成本超280萬(wàn)元。

　　三、智能化操作：從數(shù)據(jù)采集到分析的全鏈路革新

　　Sensofar搭載的SensoSCAN軟件系統(tǒng)，將復(fù)雜測(cè)量流程簡(jiǎn)化為“傻瓜式”操作。例如，在航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片檢測(cè)中，操作員經(jīng)2小時(shí)培訓(xùn)即可獨(dú)立完成86°傾角區(qū)域的粗糙度檢測(cè)，從放置樣品到生成報(bào)告僅需42秒；其內(nèi)置的SND算法可逐像素識(shí)別不可靠數(shù)據(jù)點(diǎn)，在保持0.16μm XY分辨率的同時(shí)，將噪聲水平控制在0.1nm以?xún)?nèi)。此外，設(shè)備支持ISO25178和ISO4287粗糙度標(biāo)準(zhǔn)的一鍵切換，無(wú)需手動(dòng)設(shè)置參數(shù)，顯著提升檢測(cè)效率。

　　四、工業(yè)級(jí)設(shè)計(jì)：從實(shí)驗(yàn)室到產(chǎn)線(xiàn)的無(wú)縫銜接

　　針對(duì)工業(yè)環(huán)境需求，Sensofar采用緊湊化設(shè)計(jì)，體積僅相當(dāng)于傳統(tǒng)設(shè)備的一半，可直接部署于生產(chǎn)車(chē)間。其光源壽命達(dá)50,000小時(shí)，較激光共聚焦設(shè)備提升6倍，降低全周期維護(hù)成本；125x75mm的大范圍拼接功能，滿(mǎn)足動(dòng)力電池電極片、汽車(chē)齒輪等大型工件的批量檢測(cè)需求。在5G通信用碳化硅基晶圓制備中，該設(shè)備通過(guò)量化晶體生長(zhǎng)均勻性，避免因表面缺陷導(dǎo)致的芯片性能衰減，助力產(chǎn)線(xiàn)良品率提升至99.9%。

　　從納米電子器件到宏觀(guān)機(jī)械部件，從實(shí)驗(yàn)室研究到工業(yè)產(chǎn)線(xiàn)，Sensofar白光干涉共聚焦顯微鏡正以“全能型”技術(shù)優(yōu)勢(shì)，推動(dòng)制造業(yè)向更高精度、更高效率的方向演進(jìn)。它不僅是微觀(guān)世界的“觀(guān)察者”，更是質(zhì)量控制的“守護(hù)者”與技術(shù)創(chuàng)新的“催化劑”。