白光干涉儀作為光學(xué)檢測領(lǐng)域的精密儀器，憑借其特殊的原理和廣泛的應(yīng)用，在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。

　　白光干涉儀基于光的干涉原理運(yùn)作。其核心在于利用白光這一多色光，當(dāng)光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后，經(jīng)分光棱鏡分成兩束，一束光經(jīng)被測表面反射回來，另一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉。由于白光具有連續(xù)光譜，在一定光程差范圍內(nèi)會出現(xiàn)彩色干涉條紋，且只有在零光程差附近的極小范圍內(nèi)才會出現(xiàn)清晰、對比度高的干涉條紋。通過精確尋找零光程差位置，可實(shí)現(xiàn)高精度測量，測量精度以光波波長為單位，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長（約10??米），這一特性使其測量精度遠(yuǎn)超其他測量方法。

　　白光干涉儀的應(yīng)用極為廣泛。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，它能精確測量芯片表面的形貌、薄膜厚度、臺階高度等參數(shù)，對芯片制造工藝進(jìn)行監(jiān)控和質(zhì)量檢測，例如檢測光刻膠的厚度和表面平整度、刻蝕深度和表面粗糙度等，確保芯片性能和可靠性。

　　在光學(xué)加工中，用于光學(xué)鏡片、透鏡、棱鏡等光學(xué)元件的表面形貌測量和質(zhì)量檢測，可測量表面粗糙度、曲率半徑、面形精度等參數(shù)，幫助優(yōu)化光學(xué)加工工藝，提高光學(xué)元件質(zhì)量。

　　汽車零部件制造也離不開該儀器，它能測量汽車發(fā)動機(jī)缸體、活塞、氣門等零部件的表面粗糙度、平面度、圓柱度等參數(shù)，為汽車零部件制造提供高精度檢測手段。

　　此外，在材料科學(xué)研究、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）研究、航空航天領(lǐng)域等，它同樣大顯身手。在材料研究中，助力研究材料表面形貌、結(jié)構(gòu)和性能關(guān)系；在MEMS研究中，為器件設(shè)計、制造和性能評估提供技術(shù)支持；在航空航天領(lǐng)域，用于飛機(jī)發(fā)動機(jī)葉片表面形貌測量、飛機(jī)機(jī)身表面平整度檢測、衛(wèi)星零部件尺寸精度測量等。

　　白光干涉儀以其精妙的原理和多樣化的應(yīng)用，成為眾多領(lǐng)域至關(guān)重要的檢測工具，推動著各行業(yè)的進(jìn)步與發(fā)展。