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SEM納米探針臺產(chǎn)品實現(xiàn)了三維空間上的準確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點，可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。

ZP3-4 微納探針臺探針數(shù)量：4個探頭，每個探頭配備一個三軸探針臂;自由度：每個探頭獨立驅動（X、Y、Z三自由度）。

國產(chǎn)全自動臺階儀 JS1000A，擁有高精度、高分解能，搭配一體花崗巖結構，提供穩(wěn)定可靠的重復性測量。

國產(chǎn)半自動臺階儀 JS100A，國產(chǎn)臺階儀擁有高精度、高分解能，搭配一體花崗巖結構，提供穩(wěn)定可靠的重復性測量。

?國產(chǎn)手動臺階儀 JS10A，穩(wěn)定可靠的重復性測量，采用金剛石探針，無畸變的觀察樣品區(qū)，實時觀察掃描區(qū)域，突破三個核心技術，國內研發(fā)生產(chǎn)，便于售后服務。【支持定制臺階儀】