白光干涉技術(shù)，作為一種非接觸式的光學(xué)測(cè)量方法，為微觀世界的表面形貌分析提供了有效工具。布魯克公司生產(chǎn)的白光干涉光學(xué)輪廓儀，基于此原理，通過分析參考鏡與樣品表面反射光產(chǎn)生的干涉條紋，來重建表面的三維形貌信息。認(rèn)識(shí)布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀

該儀器核心在于其光學(xué)系統(tǒng)。其光源通常采用長(zhǎng)壽命的LED白光光源，提供穩(wěn)定且色差小的照明。分光組件與高數(shù)值孔徑的物鏡精密配合，確保了干涉信號(hào)的高對(duì)比度。儀器主體結(jié)構(gòu)多采用航空級(jí)鋁合金材料，配合主動(dòng)隔震系統(tǒng)，保證了在多種環(huán)境下的測(cè)量穩(wěn)定性，有效隔離地面振動(dòng)帶來的噪聲干擾。

在性能表現(xiàn)上，該設(shè)備能應(yīng)對(duì)從超光滑到相當(dāng)粗糙的各種表面。其垂直分辨率可達(dá)亞納米級(jí)別，能夠分辨出極其細(xì)微的高度差。橫向分辨率則與所選物鏡的放大倍率相關(guān)，使用高倍物鏡時(shí)可達(dá)到微米量級(jí)。測(cè)量速度方面，得益于優(yōu)化的算法和硬件，單次測(cè)量可在數(shù)秒內(nèi)完成，適合進(jìn)行多點(diǎn)統(tǒng)計(jì)性測(cè)量。

型號(hào)示例: ContourX系列

• 用途: 適用于研發(fā)與質(zhì)量檢測(cè)領(lǐng)域，如半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)、光學(xué)薄膜、材料科學(xué)等表面的三維形貌、粗糙度、臺(tái)階高度等參數(shù)測(cè)量。

• 使用簡(jiǎn)述: 操作通過電腦軟件控制。將樣品置于樣品臺(tái)上，選擇合適倍率的物鏡，在軟件中調(diào)整光強(qiáng)和掃描范圍，啟動(dòng)自動(dòng)測(cè)量程序即可獲取數(shù)據(jù)，并可進(jìn)行后續(xù)分析。

簡(jiǎn)要參數(shù)參考:

• 垂直分辨率: < 0.1 nm

• 最大垂直掃描范圍: 可達(dá)數(shù)毫米

• 物鏡選項(xiàng): 2.5X, 10X, 20X, 50X, 100X 等

• 平臺(tái)移動(dòng)范圍: 依型號(hào)而定，通常為 100mm x 100mm 或更大

• 認(rèn)識(shí)布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀