Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀是一種用于表面形貌測量的高分辨率儀器，適用于微納尺度結(jié)構(gòu)的檢測與分析。該設(shè)備采用非接觸式測量方式，適用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密加工等領(lǐng)域。zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品特點與應(yīng)用 激光干涉儀  Zygo NewView 9000

ZYGO/翟科

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能

Zygo白光干涉儀基于白光干涉原理，能夠測量表面粗糙度、臺階高度、薄膜厚度等參數(shù)。其垂直分辨率可達(dá)亞納米級，水平分辨率則取決于物鏡的放大倍數(shù)。設(shè)備支持多種測量模式，包括相位掃描、垂直掃描和三維形貌重建。

用材與結(jié)構(gòu)

儀器主體采用高穩(wěn)定性材料，光學(xué)部件選用高質(zhì)量透鏡和反射鏡，確保長期使用的穩(wěn)定性。干涉儀的光源采用白光LED或鹵素?zé)簦筛鶕?jù)需求調(diào)整波長范圍。

參數(shù)表（示例型號：Zygo NewView 9000）

• •垂直分辨率：<0.1 nm

• •水平分辨率：0.5 μm（視物鏡而定）

• •測量范圍：0.1 nm 至 10 mm

• •掃描速度：≤1 秒/幀

• •支持樣品尺寸：最大 200 mm

用途

適用于半導(dǎo)體晶圓檢測、MEMS器件測量、光學(xué)鏡面拋光評估、精密機械加工表面分析等。

使用說明

1.開機預(yù)熱10分鐘，確保系統(tǒng)穩(wěn)定。

2.選擇合適物鏡并校準(zhǔn)參考鏡。

3.放置樣品，調(diào)整焦距至干涉條紋清晰。

4.啟動測量軟件，選擇掃描模式并開始采集數(shù)據(jù)。

5.分析結(jié)果并導(dǎo)出報告。

zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品特點與應(yīng)用 激光干涉儀

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