布魯克ContourX-500探索微觀世界三維細節(jié)

在科研與工業(yè)質檢領域，對樣品表面進行非接觸、高細節(jié)的三維形貌測量是一項常見需求。布魯克公司的ContourX-500三維光學輪廓儀，正是為滿足這一需求而設計的測量工具。它通過*的光學技術，為用戶提供樣品表面的三維數據圖，幫助用戶洞察微觀世界的豐富信息。

ContourX-500的核心在于其采用的白光垂直掃描干涉（VSI）和相位掃描干涉（PSI）技術。這兩種技術可根據樣品表面的粗糙度自動或手動切換適用。對于相對平滑的表面，PSI模式能提供更高的縱向分辨率；而對于粗糙或有較大臺階的樣品，VSI模式則展現出其測量范圍廣的特點。這種靈活的技術組合，使ContourX-500能夠適應從光滑光學元件到粗糙機加工表面的多種測量場景。

在硬件用料方面，ContourX-500體現了扎實的工藝。儀器主體采用剛性良好的金屬結構，保證了系統的穩(wěn)定性和抗振性。關鍵的光學部件選用了高品質的鏡頭和傳感器，確保了成像的清晰度和數據的可靠性。工作臺通常由耐磨材料制成，并配有精密的電動位移裝置，實現樣品的精準定位。

為了讓您更清晰地了解其核心指標，以下是ContourX-500的主要參數概覽：

• •視野范圍：可選，典型配置下可達約 10mm x 10mm。

• •垂直分辨率：在PSI模式下可達亞納米級。

• •垂直測量范圍：最高可達數毫米（因物鏡倍數而異）。

• •平臺移動范圍：通常為100mm x 100mm或以上，便于測量大樣品上的不同點位。

• •光源：長壽命LED白光光源。

• 操作流程簡述：

• 樣品準備： 確保樣品表面清潔、干燥，無明顯灰塵。

• 開機與放置： 啟動儀器和軟件，將樣品平穩(wěn)放置于樣品臺上。

• 選擇與對焦： 根據樣品特征選擇合適的物鏡倍數，通過旋鈕粗調至視野清晰。

• 光強調節(jié)： 在軟件中調節(jié)光源強度，使相機圖像不過曝也不欠曝。

• 選擇模式： 根據表面特性，選擇PSI或VSI測量模式。

• 開始測量： 設定掃描范圍（VSI模式）后，啟動自動測量程序。

• 數據分析： 測量完成后，利用軟件工具進行平面校正、濾波、參數計算等分析，并導出報告。

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該儀器廣泛應用于半導體、微電子、材料科學、精密加工、生物薄膜等行業(yè)。無論是測量芯片表面的鍍層厚度、拋光工藝后的粗糙度，還是分析涂層或薄膜的形貌特征，ContourX-500都能提供有價值的數據支持。

使用ContourX-500時，操作流程直觀。首先將樣品平穩(wěn)放置于樣品臺上，通過軟件控制平臺移動，在顯微鏡下找到待測區(qū)域。根據樣品特性選擇合適的物鏡倍數和測量模式（VSI或PSI），設置掃描參數后即可開始自動測量。測量完成后，軟件提供豐富的分析工具，可進行粗糙度計算、臺階高測量、體積分析等諸多功能，生成詳細的報告。

總而言之，布魯克ContourX-500三維光學輪廓儀是一款功能多樣、適應性強的表面測量設備，是探索微觀世界三維形貌的一個實用工具。

布魯克ContourX-500探索微觀世界三維細節(jié)