在材料分析、生命科學(xué)和工業(yè)檢測(cè)等領(lǐng)域，對(duì)樣品進(jìn)行微米乃至納米級(jí)別的觀察是一項(xiàng)普遍需求。傳統(tǒng)的大型掃描電鏡雖性能出色，但成本高、操作復(fù)雜且對(duì)環(huán)境有要求。澤攸科技的ZEM18臺(tái)式掃描電子顯微鏡，提供了一種置于桌面的成像解決方案，讓微觀結(jié)構(gòu)的日常觀察變得更為便捷。

ZEM18的設(shè)計(jì)理念在于緊湊集成與操作簡便。整機(jī)采用一體化設(shè)計(jì)，將電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和控制系統(tǒng)集成于一個(gè)主機(jī)箱內(nèi)，占地面積較小，可放置于標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)桌或工作臺(tái)上。其鏡體與樣品室采用金屬材料制造，保證了結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和真空密封性。光學(xué)鏡頭等核心部件經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，在緊湊空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)了電子束的發(fā)射、聚焦和掃描。

為了讓用戶對(duì)其核心指標(biāo)有清晰認(rèn)識(shí)，以下是ZEM18的主要參數(shù)概覽：

• •分辨率：在高真空模式下，分辨率可達(dá)數(shù)納米級(jí)別。

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• •放大倍數(shù)：范圍可從幾十倍至數(shù)萬倍，覆蓋從宏觀選取到微觀觀察的需求。

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• •加速電壓：通常在5kV至30kV范圍內(nèi)可調(diào)，以適應(yīng)不同導(dǎo)電性樣品的觀察。

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• •真空系統(tǒng)：采用分子泵與機(jī)械泵組合，抽真空時(shí)間較短。

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• •樣品室尺寸：可容納尺寸適中的樣品，樣品臺(tái)移動(dòng)范圍滿足多數(shù)觀測(cè)需求。

ZEM18的用途廣泛，適用于多種場(chǎng)景的快速成像：

• •科研教育：可用于大學(xué)、研究所的日常教學(xué)和基礎(chǔ)科研，讓學(xué)生和研究人員便捷地接觸電鏡觀察。

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• •工業(yè)質(zhì)檢：在半導(dǎo)體、PCB、金屬加工、粉末冶金等行業(yè)，用于產(chǎn)品的在線質(zhì)量檢查與失效分析。

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• •材料研發(fā)：觀察納米材料、高分子、陶瓷等材料的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)。

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• •生物醫(yī)學(xué)：觀察細(xì)胞、組織、生物礦物等樣品的表面結(jié)構(gòu)（通常需進(jìn)行噴金處理）。

使用ZEM18時(shí)，操作流程較為直觀。首先將樣品置于樣品樁上，放入樣品室并開始抽真空。待真空達(dá)到要求后，在軟件界面上選擇加速電壓和工作距離等參數(shù)，即可開始尋找視野。通過電腦軟件控制樣品臺(tái)的移動(dòng)和電子束的掃描，可以方便地找到感興趣區(qū)域，并調(diào)整焦距和像散獲得清晰圖像。整個(gè)過程無需如大型電鏡般復(fù)雜的光路對(duì)齊等步驟。

總而言之，澤攸ZEM18臺(tái)式掃描電鏡是一款旨在降低使用門檻的微觀成像工具，為日常的微納觀測(cè)任務(wù)提供了一個(gè)桌面化的選擇。