Zygo 光學(xué)輪廓儀：輕松操作的測(cè)量利器
對(duì)于精密測(cè)量設(shè)備而言，操作的便捷性直接影響工作效率，Zygo 3D 光學(xué)輪廓儀 NewView™ 9000 在操作設(shè)計(jì)上充分考慮用戶需求，讓復(fù)雜的測(cè)量過(guò)程變得簡(jiǎn)單易懂。
設(shè)備的操作核心是 ZygoMCM™軟件，其界面布局清晰，左側(cè)為功能菜單欄，包含測(cè)量設(shè)置、數(shù)據(jù)采集、分析報(bào)告等模塊，中間是實(shí)時(shí)成像區(qū)，右側(cè)為參數(shù)調(diào)節(jié)面板，用戶能快速找到所需功能。軟件支持中文操作界面，對(duì)于國(guó)內(nèi)用戶十分友好，新手只需簡(jiǎn)單熟悉，就能上手操作。
啟動(dòng)設(shè)備后，軟件會(huì)自動(dòng)進(jìn)行系統(tǒng)自檢，檢查光學(xué)系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)部件等是否正常，若有異常會(huì)彈出提示信息并顯示故障位置，方便操作人員排查。自檢完成后，進(jìn)入測(cè)量準(zhǔn)備階段，此時(shí)需將樣品放置在樣品臺(tái)上。樣品臺(tái)采用抽屜式設(shè)計(jì)，輕輕拉出即可放置樣品，臺(tái)面兩側(cè)的可調(diào)節(jié)夾具能固定不同尺寸的樣品，夾具接觸樣品的部分包裹軟膠，避免損傷樣品表面。放置好樣品后，將樣品臺(tái)推回原位，軟件會(huì)自動(dòng)識(shí)別樣品臺(tái)位置，進(jìn)入待測(cè)量狀態(tài)。
選擇測(cè)量區(qū)域是操作的關(guān)鍵步驟之一。軟件提供兩種定位方式，手動(dòng)定位和自動(dòng)定位。手動(dòng)定位時(shí)，通過(guò)控制面板的軌跡球或鍵盤(pán)方向鍵控制樣品臺(tái)移動(dòng)，在實(shí)時(shí)成像區(qū)觀察樣品，找到需要測(cè)量的區(qū)域后，點(diǎn)擊 “標(biāo)記測(cè)量區(qū)" 即可；自動(dòng)定位則適用于批量測(cè)量，用戶可提前在軟件中設(shè)置多個(gè)測(cè)量點(diǎn)的坐標(biāo)，設(shè)備會(huì)自動(dòng)依次移動(dòng)到各個(gè)測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量，大幅節(jié)省定位時(shí)間。
測(cè)量參數(shù)設(shè)置簡(jiǎn)單靈活。軟件內(nèi)置多種測(cè)量模式，如表面粗糙度測(cè)量、臺(tái)階高度測(cè)量、三維形貌掃描等，每種模式都有默認(rèn)參數(shù)組合，適合新手直接使用。若有特殊需求，可在參數(shù)調(diào)節(jié)面板修改測(cè)量范圍、分辨率、掃描速度等參數(shù)。例如，測(cè)量表面較為粗糙的樣品時(shí)，可適當(dāng)增大 Z 軸測(cè)量范圍；需要更高的橫向分辨率時(shí)，可選擇高倍率物鏡并減小視場(chǎng)范圍。參數(shù)修改后，軟件會(huì)實(shí)時(shí)顯示預(yù)覽效果，方便用戶判斷設(shè)置是否合適。
數(shù)據(jù)采集過(guò)程自動(dòng)化程度高。點(diǎn)擊 “開(kāi)始測(cè)量" 按鈕后，設(shè)備會(huì)自動(dòng)完成對(duì)焦、圖像采集、數(shù)據(jù)處理等一系列操作，無(wú)需人工干預(yù)。在采集過(guò)程中，軟件會(huì)顯示進(jìn)度條和實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，讓用戶了解測(cè)量進(jìn)展。對(duì)于大面積樣品，軟件支持拼接功能，可將多個(gè)小視場(chǎng)的測(cè)量數(shù)據(jù)拼接成完整的大視場(chǎng)形貌圖，拼接精度可達(dá) 1μm 以內(nèi)，滿足大尺寸樣品的測(cè)量需求。
數(shù)據(jù)處理與分析功能豐富實(shí)用。測(cè)量完成后，軟件會(huì)自動(dòng)生成三維形貌圖，可通過(guò)旋轉(zhuǎn)、縮放等操作從不同角度觀察樣品表面。分析模塊能計(jì)算出多種參數(shù)，如表面粗糙度 Ra、Rz、Rq，臺(tái)階高度、角度、面積等，所有計(jì)算均符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，數(shù)據(jù)具有通用性。生成的分析報(bào)告可包含三維形貌圖、參數(shù)表格、截面曲線等內(nèi)容，支持導(dǎo)出為 PDF、Word、Excel 等格式，方便存檔和分享。
軟件還具備數(shù)據(jù)對(duì)比功能，可將當(dāng)前測(cè)量數(shù)據(jù)與歷史數(shù)據(jù)或標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比，通過(guò)顏色標(biāo)注差異區(qū)域，直觀展示樣品的合格情況。對(duì)于需要長(zhǎng)期跟蹤的樣品，軟件支持建立樣品數(shù)據(jù)庫(kù)，記錄每次測(cè)量的數(shù)據(jù)，便于分析樣品的變化趨勢(shì)。
在維護(hù)保養(yǎng)方面，軟件也提供了便捷功能。通過(guò) “系統(tǒng)維護(hù)" 模塊，用戶可查看設(shè)備的使用時(shí)間、各部件狀態(tài)等信息，軟件會(huì)根據(jù)使用情況提醒進(jìn)行鏡頭清潔、導(dǎo)軌潤(rùn)滑等保養(yǎng)操作，并提供詳細(xì)的保養(yǎng)步驟指導(dǎo)，幫助用戶延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。
無(wú)論是科研實(shí)驗(yàn)室的單次精細(xì)測(cè)量，還是生產(chǎn)車間的批量質(zhì)量檢測(cè)，NewView™ 9000 都能通過(guò)簡(jiǎn)潔的操作流程和智能化的軟件功能，讓用戶輕松完成測(cè)量任務(wù)，提高工作效率。
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