ZYGOZeGage Pro 維護延長設(shè)備使用壽命方法

產(chǎn)品簡介

ZYGOZeGage Pro 維護延長設(shè)備使用壽命方法
ZeGage Pro 的日常維護操作簡單，通過規(guī)范的維護流程，可有效延長設(shè)備使用壽命，保證測量精度長期穩(wěn)定。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-10-23

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGOZeGage Pro 維護延長設(shè)備使用壽命方法

ZeGage Pro 的日常維護操作簡單，通過規(guī)范的維護流程，可有效延長設(shè)備使用壽命，保證測量精度長期穩(wěn)定。在光學(xué)系統(tǒng)維護方面，鏡頭作為核心部件，需定期清潔，清潔時使用專用鏡頭紙蘸取少量鏡頭清潔劑，輕輕擦拭鏡頭表面，避免使用普通紙巾或酒精，防止劃傷鏡頭鍍膜；防塵艙需每季度打開檢查，用干燥的無塵布擦拭艙內(nèi)灰塵，檢查密封膠條是否完好，若膠條老化需及時更換，確保防塵效果。

ZYGOZeGage Pro 維護延長設(shè)備使用壽命方法

樣品臺維護需注意定期潤滑，每半年在滾珠導(dǎo)軌表面涂抹少量專用導(dǎo)軌潤滑油，涂抹前需用無塵布擦拭導(dǎo)軌表面灰塵，避免潤滑油與灰塵混合影響導(dǎo)軌移動精度；樣品臺的壓塊與夾具需定期檢查，若發(fā)現(xiàn)螺紋松動或表面磨損，及時緊固或更換，確保樣品固定穩(wěn)定。設(shè)備電路系統(tǒng)維護方面，需保持機身通風(fēng)口通暢，避免灰塵堵塞影響散熱，每月檢查電源線與數(shù)據(jù)線的連接情況，確保接口接觸良好，避免因接觸不良導(dǎo)致設(shè)備故障。

軟件維護同樣重要，定期更新軟件版本，廠家會通過網(wǎng)站發(fā)布軟件更新包，更新內(nèi)容包括功能優(yōu)化與漏洞修復(fù)，用戶可按照更新指南逐步操作，完成軟件升級；測量數(shù)據(jù)需定期備份，軟件支持自動備份功能，用戶可設(shè)置備份頻率與存儲路徑，防止數(shù)據(jù)丟失。此外，設(shè)備需每年進行一次專業(yè)校準(zhǔn)，由廠家授權(quán)工程師進行全面檢測與校準(zhǔn)，包括光學(xué)系統(tǒng)精度、樣品臺移動精度等，確保設(shè)備各項參數(shù)符合出廠標(biāo)準(zhǔn)，為后續(xù)測量提供可靠保障。