布魯克光學(xué)輪廓儀三維測(cè)量新維度

ContourX-200是布魯克推出的臺(tái)式三維光學(xué)輪廓儀，采用白光干涉（WLI）技術(shù)實(shí)現(xiàn)非接觸式表面形貌測(cè)量。其核心配置包括5百萬(wàn)像素?cái)z像頭與電動(dòng)XY載物臺(tái)，支持2D/3D高分辨率測(cè)量。設(shè)備垂直分辨率優(yōu)于0.01nm，水平分辨率達(dá)0.5μm（Sparrow準(zhǔn)則），掃描量程≤10mm，可精準(zhǔn)捕捉微米級(jí)結(jié)構(gòu)變化。機(jī)身采用輕量化合金框架，搭配可拆卸防塵蓋板，適配車(chē)間環(huán)境。光學(xué)鏡頭經(jīng)多層增透膜處理，減少表面反射干擾，確保成像清晰。樣品臺(tái)配備彈性硅膠夾具，兼容金屬、塑料、陶瓷等多材質(zhì)電子件，避免劃傷敏感表面。軟件系統(tǒng)集成Vision64與VisionXpress，支持ISO 25178等標(biāo)準(zhǔn)分析，滿足半導(dǎo)體、MEMS、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域的質(zhì)量控制需求。

1. 產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能：

• 采用白光干涉（WLI）技術(shù)，具有高Z軸分辨率（<0.01nm）和水平分辨率（0.38μm Sparrow準(zhǔn)則，0.13μm帶AcuityXR®）。

• 配備5百萬(wàn)像素?cái)z像頭和電動(dòng)XY載物臺(tái)，支持2D/3D高分辨率測(cè)量。

• 最大掃描量程≤10mm，垂直分辨率<0.01nm，水平分辨率0.5μm（Sparrow準(zhǔn)則），臺(tái)階高度準(zhǔn)確性<0.75%，重復(fù)性<0.1% 1sigma。

• 樣品反射率范圍0.05%到100%，最大樣品高度≤100mm，XY平臺(tái)行程150mm。

• 防震設(shè)計(jì)穩(wěn)定，工作溫度15-30℃，適應(yīng)電子車(chē)間環(huán)境。

2. 用材與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：

• 機(jī)身采用輕量化合金框架，防塵蓋板可拆卸，減少粉塵影響。

• 光學(xué)鏡頭使用高透光率玻璃，多層增透膜處理，減少反射光干擾。

• 樣品臺(tái)設(shè)計(jì)有彈性硅膠夾具，保護(hù)樣品表面，適應(yīng)不同形狀的元器件。

3. 型號(hào)與用途：

• 屬于ContourX系列，型號(hào)為ContourX-200，適用于半導(dǎo)體、眼科、醫(yī)療設(shè)備、MEMS、摩擦學(xué)等領(lǐng)域。

• 支持多種國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)（如ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287）的定制化分析報(bào)告。

• 應(yīng)用于精密電子件、微型傳感器、PCB板線路、連接器引腳等檢測(cè)，以及科研和工業(yè)生產(chǎn)中的表面形貌分析。

4. 操作說(shuō)明與維護(hù)：

• 操作面板防水防油，適應(yīng)車(chē)間環(huán)境。

• 支持手動(dòng)與半自動(dòng)模式，適應(yīng)不同樣品切換和批量檢測(cè)需求。

• 軟件系統(tǒng)為Vision64和VisionXpress，支持自動(dòng)化功能如自動(dòng)拼接、網(wǎng)格自動(dòng)化、自動(dòng)對(duì)焦等。

• 維護(hù)建議包括定期清潔光學(xué)鏡頭和樣品臺(tái)，性能驗(yàn)證和校準(zhǔn)，放置在潔凈、干燥、無(wú)強(qiáng)氣流和振動(dòng)環(huán)境中。

5. 參數(shù)表：

• 垂直分辨率<0.01nm，水平分辨率0.5μm，最大掃描量程≤10mm，臺(tái)階高度準(zhǔn)確性<0.75%，重復(fù)性<0.1% 1sigma，樣品反射率0.05%-100%，樣品高度≤100mm，XY平臺(tái)行程150mm，重量67kg，尺寸480mm(W)x604mm(D)x754mm(H)。

布魯克光學(xué)輪廓儀三維測(cè)量新維度