澤攸ZEM20掃描顯微鏡使用說明與維護(hù)

澤攸?ZEM20 以緊湊結(jié)構(gòu)、可靠真空系統(tǒng)、靈活的自動化功能以及完善的維護(hù)體系，能夠滿足材料科學(xué)、能源、生命科學(xué)等多領(lǐng)域的微觀表征需求。通過上述六篇技術(shù)文章，您可以快速了解其硬件構(gòu)成、成像性能、材料工藝、操作要點(diǎn)、環(huán)境適配以及典型應(yīng)用場景，為實(shí)驗(yàn)室選型與日常使用提供系統(tǒng)參考。

• 首啟動

• 檢查 220?V 電源、接地電阻 <?2?Ω。

• 開機(jī)后系統(tǒng)自檢 20?s，待前級泵 5?Pa 后渦輪泵自動加速至 600?Hz。

• 燈絲預(yù)熱：電流階梯升至 1.0?A，保持 90?s，工作電流 0.75?A。

• 合軸與像散校正

• 裝入 100?×?銅網(wǎng)標(biāo)樣，選擇 10?kV、20?pA。

• 使用 “wobbler" 觀察拉伸方向，調(diào)節(jié) X/Y 掃描幅度最小化拉伸。

• 進(jìn)入像散校正窗口，執(zhí)行多步迭代，保存預(yù)設(shè)文件。

• 樣品交換

• 點(diǎn)擊 “Vent" 放氣，約 35?s 回到大氣壓。

• 打開腔蓋，裝入新樣品臺（高度 ≤?15?mm），關(guān)閉后點(diǎn)擊 “Pump"。

• 2.5?min 達(dá)到 <?1?×?10?3?Pa，完成后自動聚焦。

• 維護(hù)周期

• 3?個(gè)月：檢查前級泵油霧過濾器。

• 6?個(gè)月：用無絨布蘸乙醇擦拭腔壁，記錄真空曲線。

• 12?個(gè)月：備份軟件、校準(zhǔn)高壓電源（差 <?0.5?%）。

• 燈絲壽命：≈?1500?h，系統(tǒng)彈窗提示后更換，換后重新執(zhí)行合軸。

維護(hù)要點(diǎn)

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