ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)用材與部件特性

產(chǎn)品簡介

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)用材與部件特性
正確的操作和定期的維護(hù)是保證ZeGage Pro長期穩(wěn)定運(yùn)行和測量數(shù)據(jù)可靠性的重要環(huán)節(jié)。

產(chǎn)品型號(hào)：ZeGage Pro

更新時(shí)間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)用材與部件特性

一、整體結(jié)構(gòu)與機(jī)身用材

ZeGage Pro 機(jī)身采用高強(qiáng)度鋁合金框架，厚度 5mm，經(jīng)時(shí)效處理后抗拉強(qiáng)度達(dá) 300MPa，支撐內(nèi)部精密部件穩(wěn)定安裝，同時(shí)控制整機(jī)重量約 35kg，便于實(shí)驗(yàn)室移動(dòng)。外殼為 ABS+PC 合金塑料，表面啞光處理，抗沖擊且減少環(huán)境光反射干擾，防護(hù)等級(jí) IP42，可阻擋灰塵與輕微濺液。

機(jī)身底部配備 4 個(gè)橡膠腳墊（直徑 30mm），摩擦系數(shù) 0.8，避免設(shè)備移位；頂部操作面板為鋼化玻璃（厚度 3mm，透光率 92%），耐磨防刮，支持觸控操作，日常清潔用無塵布蘸清水擦拭即可。

二、核心部件用材與性能

（一）光學(xué)系統(tǒng)用材

物鏡組：鏡片采用高折射率低色散玻璃（LaK 系列），多層鍍膜（每層厚 100-200nm），透光率達(dá) 98% 以上，減少色差與雜光。物鏡外殼為不銹鋼（SUS304），同軸度誤≤0.01mm，確保光路精準(zhǔn)，適配 5X-50X 不同倍率需求。

干涉儀模塊：核心棱鏡為石英材質(zhì)（耐溫 - 50℃-200℃，折射率穩(wěn)定），分光膜采用 dielectric 涂層，分光比誤≤2%，保證干涉信號(hào)穩(wěn)定，支撐 0.05nm 垂直分辨率測量。

光源組件：LED 燈珠為高亮度貼片式（單顆功率 1W，壽命 50000 小時(shí)），散熱外殼為鋁合金，帶鰭片結(jié)構(gòu)（間距 2mm），連續(xù)工作 4 小時(shí)溫度升幅≤15℃，避免亮度衰減。

（二）樣品臺(tái)用材

手動(dòng)樣品臺(tái)臺(tái)面為航空級(jí)鋁合金（表面平整度≤0.005mm），有效承載面積 200mm×150mm，可放重量≤5kg 樣品。移動(dòng)導(dǎo)軌為不銹鋼（GCr15），淬火后硬度 HRC60，配合 POM 螺母，傳動(dòng)精度 0.001mm，手動(dòng)調(diào)節(jié)順滑無卡頓。

自動(dòng)樣品臺(tái)（選配）驅(qū)動(dòng)電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)（步距角 1.8°），外殼為釹鐵硼永磁材料，體積小且扭矩足，X/Y 軸行程 100mm×80mm，定位精度 0.0005mm，適配批量樣品自動(dòng)檢測。

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)用材與部件特性