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產(chǎn)品中心三維光學輪廓儀SensofarS?neoxSensofar光學輪廓儀在光學元件制造中的應用
產(chǎn)品簡介
Sensofar光學輪廓儀在光學元件制造中的應用Sensofar光學輪廓儀智能化檢測與分析系統(tǒng)Sensofar?S?neox 將共聚焦顯微、白光干涉和多焦面疊加三大技術融合在同一平臺，實現(xiàn)從超光滑到粗糙表面的全場景測量。
產(chǎn)品分類
Sensofar光學輪廓儀在光學元件制造中的應用
Sensofar?S?neox 將共聚焦顯微、白光干涉和多焦面疊加三大技術融合在同一平臺，實現(xiàn)從超光滑到粗糙表面的全場景測量。儀器采用無運動部件的微顯示（FLCOS）掃描引擎，保證高速、穩(wěn)定的光路切換。核心光學部件包括高數(shù)值孔徑（NA?0.95）共聚焦物鏡和可變倍率白光干涉光路，橫向分辨率可達?0.10?µm，縱向分辨率在?0.1?nm 量級。系統(tǒng)配備 500 萬像素 CMOS 相機，數(shù)據(jù)傳輸速率 180?fps，單次掃描時間可低至?3?秒。
在光學元件制造中，S neox通過白光干涉模式實現(xiàn)透鏡曲率半徑與面型誤差的高精度檢測。例如，在光學鏡片制造中，設備可測量PV值并識別偏差區(qū)域，自動標記并生成分析報告。在棱鏡與反射鏡檢測中，S neox支持偏光等特種物鏡適配，滿足不同角度與偏振狀態(tài)的檢測需求。在薄膜厚度測量方面，設備可實現(xiàn)5nm-100μm無損檢測，配合偏振編碼技術分離上下表面信號，保障OLED、AR鍍膜等高精度光學元件的質(zhì)量控制。軟件內(nèi)置光學元件專用分析模塊，支持曲率半徑、PV值、表面粗糙度等多參數(shù)自動計算，并生成符合行業(yè)標準的檢測報告。設備還支持時間序列掃描功能，可追蹤光學元件在制造過程中的性能變化，為工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。
Sensofar?S?neox 通過技術融合、模塊化設計和強大的軟件平臺，為科研與工業(yè)用戶提供了從納米級縱向分辨率到宏觀視場的完整測量解決方案。其高分辨率、寬斜率適應性和高速掃描能力，使其在半導體、光學、材料科學和生物醫(yī)學等領域具備廣泛的適用性，能夠顯著提升檢測效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
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