光學(xué)元件檢測(cè)好助手Zygo激光干涉光學(xué)輪廓儀
光學(xué)元件如鏡頭、鏡片的表面精度直接影響光學(xué)設(shè)備的成像質(zhì)量,Zygo 3D 光學(xué)輪廓儀 NewView™ 9000 能精準(zhǔn)檢測(cè)光學(xué)元件表面形貌,為光學(xué)元件生產(chǎn)與質(zhì)檢提供有力支持。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)上,NewView™ 9000 配備光學(xué)元件專用固定裝置,可根據(jù)鏡片曲率、鏡頭尺寸調(diào)整固定位置,避免檢測(cè)時(shí)元件受力變形。設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)能模擬光學(xué)元件的實(shí)際工作光線角度,檢測(cè)結(jié)果更貼合實(shí)際使用場(chǎng)景。操作界面設(shè)有 “光學(xué)元件檢測(cè)" 專屬模塊,包含曲率半徑測(cè)量、表面面型誤差分析等功能,工作人員可直接調(diào)用,簡(jiǎn)化操作流程。
性能方面,該設(shè)備的垂直分辨率能滿足光學(xué)元件納米級(jí)的面型誤差檢測(cè)需求,清晰捕捉鏡片表面的微小凸起或凹陷。采用相移干涉技術(shù)時(shí),可對(duì)透明光學(xué)元件的雙面形貌進(jìn)行檢測(cè),無(wú)需拆分元件,減少檢測(cè)流程。檢測(cè)數(shù)據(jù)的重復(fù)性較好,多次檢測(cè)同一光學(xué)元件,結(jié)果偏差較小,保障質(zhì)檢的可靠性。
用材上,NewView™ 9000 與光學(xué)元件接觸的夾具部分采用軟質(zhì)耐磨材料,避免劃傷元件表面。設(shè)備外殼采用防靜電材料,減少靜電對(duì)光學(xué)元件的影響,尤其適合高精度光學(xué)鏡片的檢測(cè)。
以下是 Zygo 3D 光學(xué)輪廓儀 NewView™ 9000 的部分參數(shù)表:
用途上,它可用于相機(jī)鏡頭表面面型檢測(cè)、望遠(yuǎn)鏡鏡片曲率半徑測(cè)量、光學(xué)棱鏡表面缺陷排查等。在光學(xué)元件生產(chǎn)車間,可作為出廠質(zhì)檢設(shè)備,篩選不合格產(chǎn)品;在光學(xué)設(shè)備維修中,能幫助判斷光學(xué)元件的損傷程度,輔助維修方案制定。
使用時(shí),先清潔光學(xué)元件表面,避免污漬影響檢測(cè)結(jié)果。將元件固定在專用夾具上,調(diào)整樣本臺(tái)使元件中心對(duì)準(zhǔn)光學(xué)鏡頭。在軟件中選擇 “光學(xué)元件檢測(cè)" 模塊,設(shè)置檢測(cè)類型(如面型檢測(cè)、曲率測(cè)量)與參數(shù),啟動(dòng)檢測(cè)。設(shè)備完成檢測(cè)后,會(huì)生成面型誤差圖與曲率數(shù)據(jù),工作人員可對(duì)比標(biāo)準(zhǔn)值判斷元件是否合格。檢測(cè)結(jié)束后,取下元件并妥善存放,清潔夾具與樣本臺(tái),關(guān)閉設(shè)備電源。
光學(xué)元件檢測(cè)好助手Zygo激光干涉光學(xué)輪廓儀