ZYGO激光干涉光學(xué)輪廓儀應(yīng)用探索

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ZYGO激光干涉光學(xué)輪廓儀應(yīng)用探索在半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域，薄膜材料的表面形貌如同“隱形密碼"——一層僅幾十納米厚的鍍膜，若表面存在微米級(jí)顆?；蚺_(tái)階起伏，可能導(dǎo)致器件失效或光學(xué)性能衰減。某專注光學(xué)薄膜研發(fā)的科技公司，曾因膜層表面檢測(cè)難題困擾多年，直到引入ZYGO Nexview™ NX2光學(xué)輪廓儀，才真正實(shí)現(xiàn)了從“經(jīng)驗(yàn)判斷"到“數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)"的跨越。

產(chǎn)品型號(hào)：ZYGO Nexview NX2

更新時(shí)間：2025-10-31

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激光干涉儀

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ZYGO激光干涉光學(xué)輪廓儀應(yīng)用探索

在半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域，薄膜材料的表面形貌如同“隱形密碼"——一層僅幾十納米厚的鍍膜，若表面存在微米級(jí)顆粒或臺(tái)階起伏，可能導(dǎo)致器件失效或光學(xué)性能衰減。某專注光學(xué)薄膜研發(fā)的科技公司，曾因膜層表面檢測(cè)難題困擾多年，直到引入ZYGO Nexview™ NX2光學(xué)輪廓儀，才真正實(shí)現(xiàn)了從“經(jīng)驗(yàn)判斷"到“數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)"的跨越。

該公司主打研發(fā)用于AR眼鏡的增透膜，膜層厚度僅120nm，卻需保證表面顆粒度≤50nm、全局平整度偏差＜1nm。過(guò)去，團(tuán)隊(duì)依賴原子力顯微鏡（AFM）檢測(cè)，但AFM掃描范圍僅10μm×10μm，如同“用顯微鏡看地圖"，只能捕捉局部細(xì)節(jié)，無(wú)法判斷整層膜面的均勻性。更頭疼的是，批量生產(chǎn)時(shí)，若按AFM抽樣比例（每爐抽檢5個(gè)點(diǎn)），常因漏檢導(dǎo)致整批膜層返工?！坝写慰蛻舴答伳痈街Σ睿覀儾鸾夂蟀l(fā)現(xiàn)是局部顆粒堆積引發(fā)應(yīng)力集中，但當(dāng)時(shí)根本查不出問(wèn)題根源。"研發(fā)主管王工回憶道。

接觸NX2后，團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了“宏觀+微觀"的全景檢測(cè)。設(shè)備配置的白光干涉模塊，可掃描50mm×50mm的大視場(chǎng)區(qū)域，同時(shí)保持0.1nm的縱向分辨率——相當(dāng)于在一張A4紙上，不僅能看清整幅畫(huà)的輪廓，連每根線條的粗細(xì)變化都能分辨。檢測(cè)時(shí)，軟件生成的彩色三維形貌圖讓團(tuán)隊(duì)震驚：原本以為均勻的膜層，竟在邊緣區(qū)域存在密集的“小山包"（顆粒堆積），最高凸起達(dá)80nm?！耙郧癆FM只測(cè)中心，我們誤以為膜面沒(méi)問(wèn)題，現(xiàn)在才知道邊緣工藝參數(shù)需要調(diào)整。"王工說(shuō)。

更關(guān)鍵的是，NX2的批量分析功能讓工藝優(yōu)化有了明確方向。團(tuán)隊(duì)將膜層制備的12道工序與NX2檢測(cè)數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)，發(fā)現(xiàn)顆粒堆積集中在“磁控濺射"環(huán)節(jié)——靶材濺射角度偏移導(dǎo)致部分粒子未均勻沉積。通過(guò)調(diào)整靶材位置并優(yōu)化濺射功率，第二次檢測(cè)時(shí)，膜層邊緣的凸起高度降至20nm以下，全局平整度達(dá)標(biāo)率從65%提升至92%。

目前，該公司的薄膜研發(fā)周期已從3個(gè)月縮短至1個(gè)半月。王工坦言：“NX2不僅是檢測(cè)工具，更是研發(fā)的眼睛。以前我們像在黑箱里試錯(cuò)，現(xiàn)在每一步調(diào)整都能看到明確的形貌反饋，研發(fā)效率至少翻了一番。"對(duì)于薄膜這種“納米級(jí)精度+宏觀一致性"的材料，NX2的“跨尺度檢測(cè)"能力，正成為連接微觀機(jī)理與宏觀性能的核心橋梁。

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