Sensofar S neox作為非接觸式白光干涉表面形貌儀的典型代表，在精密制造領(lǐng)域展現(xiàn)出獨(dú)特的技術(shù)價(jià)值。其多模式測(cè)量平臺(tái)集成共聚焦、白光干涉與多焦面疊加技術(shù)，無需硬件切換即可適配從納米級(jí)薄膜到毫米級(jí)結(jié)構(gòu)的全尺度測(cè)量需求，為微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、光學(xué)元件、精密模具等制造場(chǎng)景提供可靠的非接觸式測(cè)量解決方案。

在MEMS器件制造中，器件表面的微觀形貌直接影響其功能穩(wěn)定性與使用壽命。S neox的共聚焦模式可清晰捕捉微米級(jí)結(jié)構(gòu)的邊緣輪廓與表面粗糙度，例如在加速度計(jì)懸臂梁檢測(cè)中，設(shè)備可實(shí)現(xiàn)0.1μm級(jí)橫向分辨率與亞納米級(jí)縱向分辨率的同步測(cè)量，輔助工程師優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)參數(shù)。白光干涉模式則適用于薄膜厚度分析，通過光譜擬合技術(shù)可實(shí)現(xiàn)50nm-5μm厚度范圍內(nèi)的亞納米級(jí)測(cè)量，支持鍍膜工藝的精準(zhǔn)控制。

光學(xué)元件制造領(lǐng)域，S neox的多焦面疊加技術(shù)有效解決了高陡度表面測(cè)量難題。例如在球面透鏡檢測(cè)中，設(shè)備可自動(dòng)調(diào)整焦面位置并疊加多幅圖像，實(shí)現(xiàn)斜率超70°的曲面形貌完整重建。相位差干涉模式則可分離透鏡上下表面信號(hào)，實(shí)現(xiàn)雙曲面形貌的無損測(cè)量，確保透鏡中心厚度與面形精度的一致性。

精密模具制造中，表面粗糙度直接影響模具的脫模性能與產(chǎn)品表面質(zhì)量。S neox支持ISO 12085/13566標(biāo)準(zhǔn)粗糙度計(jì)算，可輸出Ra、Rz等參數(shù)的量化評(píng)估結(jié)果。在注塑模具表面檢測(cè)中，設(shè)備可分析模具表面的微納結(jié)構(gòu)特征，如拋光紋路、劃痕深度等，輔助優(yōu)化模具拋光工藝與表面處理方案。

設(shè)備操作流程注重制造場(chǎng)景的效率需求。SensoSCAN軟件界面采用模塊化設(shè)計(jì)，支持一鍵式測(cè)量模式切換與自動(dòng)化參數(shù)配置。在產(chǎn)線集成場(chǎng)景中，設(shè)備可通過SECS/GEM協(xié)議對(duì)接自動(dòng)化產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)傳輸與工藝參數(shù)的動(dòng)態(tài)調(diào)整。軟件內(nèi)置的批量數(shù)據(jù)處理功能可自動(dòng)整合多組測(cè)量數(shù)據(jù)并生成標(biāo)準(zhǔn)化報(bào)告，有效提升生產(chǎn)流程的自動(dòng)化水平。

環(huán)境適應(yīng)性方面，設(shè)備采用模塊化機(jī)身設(shè)計(jì)與IP54防護(hù)等級(jí)光學(xué)系統(tǒng)，可適應(yīng)產(chǎn)線環(huán)境的多樣化需求。低膨脹玻璃陶瓷基座與鐵電液晶掃描引擎確保設(shè)備在溫度波動(dòng)＜0.1°C的環(huán)境中保持測(cè)量穩(wěn)定性。其振動(dòng)補(bǔ)償算法可在超100nm環(huán)境振動(dòng)中穩(wěn)定工作，滿足精密制造場(chǎng)景對(duì)高精度測(cè)量的嚴(yán)苛要求。

通過技術(shù)融合與應(yīng)用創(chuàng)新，Sensofar S neox在精密制造領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用潛力。其多模式測(cè)量能力與用戶友好的操作界面，為制造企業(yè)提供了從微觀形貌分析到宏觀工藝優(yōu)化的完整解決方案，有效支持精密制造的效率提升與質(zhì)量?jī)?yōu)化，成為精密制造表面形貌檢測(cè)的可靠工具。

sensofar白光干涉表面形貌儀在精密制造實(shí)踐