白光干涉儀S neox的技術(shù)融合之道

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白光干涉儀S neox的技術(shù)融合之道：Sensofar S neox創(chuàng)新性地將共聚焦、白光干涉和形貌對(duì)比三種技術(shù)融于一體，可根據(jù)樣品特性智能切換或協(xié)同工作，實(shí)現(xiàn)從粗糙到光滑表面的高效、精準(zhǔn)三維測(cè)量。

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更新時(shí)間：2025-11-12

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產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學(xué)輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測(cè)量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀布魯克三維光學(xué)輪廓儀

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白光干涉儀S neox的技術(shù)融合之道

在現(xiàn)代精密計(jì)量領(lǐng)域，面對(duì)復(fù)雜的應(yīng)用場(chǎng)景，很少有單一測(cè)量技術(shù)能夠應(yīng)對(duì)所有挑戰(zhàn)。共聚焦顯微鏡擅長(zhǎng)測(cè)量高陡坡和粗糙表面，白光干涉儀在測(cè)量光滑表面時(shí)具有優(yōu)異的垂直分辨率，而形貌對(duì)比成像則能提供高清晰度的光學(xué)圖像。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀的一個(gè)顯著特點(diǎn)是將其三種技術(shù)集成于一個(gè)平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了技術(shù)融合，從而拓展了設(shè)備的綜合應(yīng)用能力。

這種融合并非簡(jiǎn)單的功能疊加，而是通過(guò)精心的光路設(shè)計(jì)和智能軟件控制，實(shí)現(xiàn)了“1+1>2"的效果。儀器內(nèi)部，光路被設(shè)計(jì)成可以在這三種模式之間快速、自動(dòng)地切換。用戶(hù)無(wú)需更換硬件組件，即可根據(jù)樣品的實(shí)時(shí)圖像和測(cè)量需求，選擇最合適的技術(shù)。

智能化的軟件在技術(shù)選擇中扮演著重要角色。對(duì)于經(jīng)驗(yàn)不足的用戶(hù)，軟件可以提供基于樣品表面特性的自動(dòng)模式推薦。例如，當(dāng)軟件識(shí)別到視野內(nèi)主要為光滑表面時(shí)，可能會(huì)建議采用白光干涉模式；當(dāng)檢測(cè)到大量陡峭邊緣或粗糙結(jié)構(gòu)時(shí)，則可能推薦共聚焦模式。這有助于用戶(hù)更快地獲得可靠的測(cè)量結(jié)果。

更重要的是，三種技術(shù)可以協(xié)同工作，用于測(cè)量一個(gè)復(fù)雜樣品。例如，用戶(hù)可以先用共聚焦模式快速掃描一個(gè)大面積區(qū)域，定位到幾個(gè)需要精細(xì)檢查的平滑區(qū)域，然后針對(duì)這些特定區(qū)域，切換到白光干涉模式進(jìn)行納米級(jí)粗糙度測(cè)量。整個(gè)流程可以在一個(gè)測(cè)量程序中自動(dòng)完成。這種協(xié)同工作方式，既保證了測(cè)量效率，又兼顧了不同區(qū)域?qū)y(cè)量技術(shù)的優(yōu)良適應(yīng)性。

技術(shù)融合還體現(xiàn)在數(shù)據(jù)的互補(bǔ)性上。有時(shí)，單一技術(shù)獲得的數(shù)據(jù)可能存在不確定性。例如，在白光干涉測(cè)量中，對(duì)于某些特殊結(jié)構(gòu)，可能會(huì)存在解包裹算法的歧義。此時(shí)，共聚焦模式獲得的獨(dú)立數(shù)據(jù)可以作為驗(yàn)證和補(bǔ)充，提高測(cè)量結(jié)果的可信度。同時(shí)，高清晰度的形貌對(duì)比圖像始終為用戶(hù)提供直觀的視覺(jué)參考，便于判斷測(cè)量區(qū)域的代表性。

Sensofar S neox的技術(shù)融合之道，體現(xiàn)了一種面向?qū)嶋H應(yīng)用問(wèn)題的系統(tǒng)解決方案思想。它通過(guò)集成多種經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的測(cè)量技術(shù)，并使其能夠靈活、便捷地組合使用，為用戶(hù)提供了一個(gè)適應(yīng)性更廣、功能更全面的測(cè)量平臺(tái)，能夠從容應(yīng)對(duì)從超光滑光學(xué)表面到粗糙的機(jī)械加工表面等多樣化的測(cè)量任務(wù)。