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SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡(jiǎn)單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。

ZP3-4 微納探針臺(tái)探針數(shù)量：4個(gè)探頭，每個(gè)探頭配備一個(gè)三軸探針臂;自由度：每個(gè)探頭獨(dú)立驅(qū)動(dòng)（X、Y、Z三自由度）。

國(guó)產(chǎn)全自動(dòng)臺(tái)階儀 JS1000A，擁有高精度、高分解能，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量。

國(guó)產(chǎn)半自動(dòng)臺(tái)階儀 JS100A，國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀擁有高精度、高分解能，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量。

?國(guó)產(chǎn)手動(dòng)臺(tái)階儀 JS10A，穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量，采用金剛石探針，無畸變的觀察樣品區(qū)，實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域，突破三個(gè)核心技術(shù)，國(guó)內(nèi)研發(fā)生產(chǎn)，便于售后服務(wù)?！局С侄ㄖ婆_(tái)階儀】